zolix卓立汉光 Carrier200.xy. /xyz.C 中空压电扫描台
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
型号
Carrier200.xy. /xyz.C
运动方向
Carrier.S200.XY : X，Y 方向
Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z 方向
底面尺寸×高度（mm）
182×150×15
主体材料
铝合金/ 不锈钢
自重（g）
1000
运动行程（um）
Carrier.S200.xy : 200×200
Carrier.S200.xyz : 200×200×200
中间通孔尺寸（mm）
77×65
运动分辨率（nm）
2
运动可重复精度（nm）
士20
线性误差
优于 0.1%
共振频率（Hz）
200(X) 150(Y)
最大负载（g）
500
闭环传感器（闭环版本）
电容式
驱动电压
Max. 150 V
推荐使用温度
-15 ~ 40 °C
质量（kg）
1
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