型号

SH30.xyz.0 /.C

运动方向

X ,Y ,Z 方向

底面尺寸×高度（mm）

160×160×35

主体材料

不锈钢

自重（g）

4000

运动行程（um）

30×30×15

运动分辨率（nm）

0.1(开环) 0.3(闭环)

运动可重复精度（闭环）（nm）

<3

偏摆角度（urad）

20/ 20 / 50

共振频率 (空载)（Hz）

50

最大负载（kg）

10

闭环传感器（闭环版本）

电容式

驱动电压（V）

150

推荐使用温度

-20 ~ 80 °C