型号

SD15.x.C

SD30.x.C

运动方向

X方向

底面尺寸×高度（mm）

62×40×13.5

80×40×13.5

主体材料

铝合金

自重（g）

250

350

运动行程（um）

15（闭环）

30 （闭环）

运动分辨率（nm）

0.1

0.2

运动可重复精度（nm）

2

4

线性误差

优于 0.035%

摇摆（urad）

2

俯仰（urad）

2

共振频率（kHz）

3.3

2.2

共振频率 (300g）（kHz）

1

0.625

刚性（N/um）

28

18

闭环传感器（闭环版本）

电容式

推荐使用温度

-20 ~ 80 °C