型号

Carrier.OB.050.C

Carrier.OB100.C

Carrier.OBHL100.C

外形尺寸

详见各型号尺寸图

材质

不锈钢/铝合金

自重（g）

270

270

500

运动方向

Z 轴

行程（um）

50

100

100

线性度

0.02%

0.03%

0.02%

内置传感器

电容式传感

传感器噪声（nm）

1

Z方向分辨率，开环（nm）

0.2

稳定时间 (90%位置到达)（ms）

10

15

10

共振频率（无负载）（Hz）

600

500

900

共振频率（150 g 负载）（Hz）

300

250

500