型号

LS35z.Lab .O / .R

LS65z.Lab.O / .R.

底面尺寸×高度（mm）

35×35×33

65×65×42.5

主体材质

默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版）

自重（g）

102g（.R）200g(.O)

300g(O)

运动行程（mm）

10

最大速度（mm/s）

-10

最小步伐（nm）

~10

重复定位精度

驱动频率

Max. 20 kHz （超安静运动）

最大负载（g）

500

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad / 0.2 mrad（0.017°/0.012°）

位置传感类型

-电阻型传感（ .R ）

-光栅尺传感（.O ）

位置传感量程（mm）

10

位置传感分辨率

- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm

- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选