型号

LS25x.Lab.R

LS35x.Lab.o/R

LS65x.Lab.O/R

底面尺寸×高度（mm）

25×25×10

35×35×12

65×65×13

主体材质

默认不锈钢（可选铝合金、纯钛版）

自重（g）

40g

102g（.R）200g(.O)

200g(.O)

运动行程（mm）

8

20

30

最大速度（mm/s）

-20

最小步伐（nm）

~15

~10

~10

重复定位精度（nm）

/

300

200

驱动频率

Max. 20 kHz （超安静运动）

最大水平推力（N）

2

保持力

5

5

5

全行程俯仰/偏摆

0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012°/0.017°）

水平负载

500g

500g

2000g

竖直负载

200g

200g

150g

位置传感类型

- 电阻型传感（ .R ）

-电阻型传感（ .R ）

-光栅尺传感（.O ）

-电阻型传感（ .R ）

-光栅尺传感（.O ）

位置传感量程（mm）

8

20

30

位置传感分辨率

- 150nm

电阻型传感（ .R ），

100-200 nm

- 光栅尺传感（.O ），

10 nm(默认);

4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm

- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认);

4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选