扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,实现对物质微观形貌表征的目的。具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。拉曼技术在分子级别上提供样品的化学结构、组分信息;而 SEM 可在纳米尺度上提供高空间分辨率的形貌图像;SEM与拉曼光谱技术相结合,使用 SEM 观察样品形貌,并可获取指定样品点的拉曼光谱信息,同步获取样品材料表面形貌、分子结构与化学组分等信息。