UVATA依瓦塔      UV155C      光刻机投影物镜

产品优点

1高分辨率,100lp/mm时MTF>0.03;

2.TV畸变<0.02%;场曲<0.1mm;

3独特的物像远心光路。

工作原理

DMD(Digital Micromirror Derice)无掩模光刻机的投影物镜镜头简称激光镜头。通过无掩模光刻机用户根据自己的需求设计相应的图形进行光刻加工,无需先制造掩模版,这样可以节省加工时间及成本,有效提高光刻机的生产效率。

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