型号

MTS311

MTS312

MTS313

MTS314

MTS315

MTS316

MTS317

行程（mm）

50

100

150

200

250

300

400

台面尺寸(mm)

120×120

120×120

120×120

150×120

150×120

150×120

165×160

导轨

线性滑块

螺杆导程(mm)

4

5

分辨率（mm）

0.00032

0.00039

极限速度（mm/s）

20

40

50

重复定位精度(mm)

＜0.003

轴向间隙(mm)

＜0.005

步进电机（1.8°）

42步进电机

56步进电机

极限静转矩（Ncm）

40

50

170

中心负载（kg）

20

30

50

自重（kg）

3.4

3.8

4.1

5.5

5.8

6.3

11.5

备注

可选配防护罩，应用真空环境中，需单独订货