型号

MRS312

MRS313

台面直径（mm）

60

120

传动比

3：1

6：1

驱动方式

齿轮

最小分辨率

0.009°

0.0047°

重复定位精度

±0.004°

±0.004°

极限速度

250°/s

250°/s

步进电机（1.8°）

35步进电机

56步进电机

极限静转矩(Ncm)

10

60

中心负载（kg）

3

15

自重（kg）

0.5

2.6

备注

应用真空环境中，需单独订货